| 產品型號 | A3-SR-300 |
| 產品尺寸 | 寬800mm*長1000mm*高500mm |
| 產品圖片 |
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| 運動方式 | 手動 |
| 測試方式 | 近紅外 反射(R) |
| 波長范圍 | 700nm -900 nm（實際要求會有所不同） |
| 光源 | 鎢鹵素燈壽命10000小時 |
| 光路和傳感器 | 光纖式(FILBER )+進口光譜儀 |
| 入射角 | 0 度 (垂直入射) (0 DEGREE) |
| 參考光樣品 | 硅片 |
| 光斑大小 | About 1 mm（標配，可以根據(jù)用戶要求配置） |
| 樣品大小 | 450X550毫米 |
| XY行程 | 手動，450X550毫米 |
膜厚測量性能指標（THICKNESS SPECIFICATION）：
| 產品型號 | A3-SR-300 |
| 厚度測量1 | 100nm - 300 um |
| 折射率1（厚度要求） | 大于200nm |
| 準確性2 | 2 nm 或0. 5% |
| 精度3 | 0.1 nm |
2 使用硅片上的二氧化硅測量，實際上材料和待測結構也會影響性能
3 使用硅片上的二氧化硅（500納米）測量30次得出的1階標準均方差,每次測量小于1秒.
軟件(SOFTWARE)：
| 檢測項目 | 標準型 |
| 層數(shù) | 10 層 |
| 材料 | 表格型和函數(shù)型 |
| 粗糙度模型 | 有 |
| 反射/透射 | 反射型+透射型 |
| 材料庫 | 表格型+函數(shù)型 |
| 入射角 | 垂直入射 |
| 折射率測量 | 有 |
