光罩式絕對(duì)坐標(biāo)測(cè)量技術(shù): 絕對(duì)坐標(biāo)實(shí)時(shí)測(cè)量, 可將物理性的機(jī)械誤基本上消除, 真正實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量.
花崗石機(jī)身: 最穩(wěn)定的材質(zhì),可避免機(jī)械內(nèi)應(yīng)力釋放所造成的變形誤差.
雙鏡頭、雙影像畫(huà)面快速對(duì)位、快速抓取測(cè)量: 可快速找到被測(cè)位置并高精度測(cè)量.
雙大視野影像: 輔助對(duì)位, 快速找到被測(cè)位置.
產(chǎn)品預(yù)設(shè)編程及程序呼出測(cè)量: 可預(yù)設(shè)并儲(chǔ)存產(chǎn)品名稱、編號(hào)及需測(cè)量的長(zhǎng)度、位置及順序.
雙大視野影像 快速輔助對(duì)位.
測(cè)量結(jié)果可輸出至Excel.
| 工作臺(tái)尺寸 | 外觀 | 重量 | 有效最小及大量測(cè)尺寸 | 臺(tái)面放置量測(cè)物最大尺寸 |
| 1400*680mm | 花崗石+鋼板靜電噴涂 | 250kg | 250mm ~765mm | 1200mm |
| 內(nèi)層板量測(cè)精度 | 可測(cè)標(biāo)靶尺寸 | 可測(cè)產(chǎn)品種類 | 重復(fù)性 | 光學(xué)鏡頭 |
| 3+L/600 μm | 3.175 及其以下之圓或圓環(huán) | 菲林 | ±1.5μm | 遠(yuǎn)心光路1X |
| CCD視野 | 光源 | 鏡頭移動(dòng)機(jī)構(gòu) | 工作電壓 | 工作溫度 |
| 4.25*3.25mm | Yellow LED | Servo motor | 220V,50±5HZ | 22°±2 |
